技术支持??? ， 管理登录 【行业资讯】卓海科技登陆新三板：国内规模最大的半导体前道量检测修复设备供应商已形成14nm制程修复工艺平台。同时，卓海科技持续进行核心组件的研发和供应链的培育，已形成高重频脉冲激光器、高压电源装置、精密传输系统等突破成果，不断提高技术水平。

在自研设备领域，卓海科技已经完成了应力测量设备、方块电阻测量设备两类自研整机设备的研发，相关技术指标达到国际原厂的同类产品水平，并已经销售给国内多个知名芯片产线客户，实现自研产品的商业化。

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例如对缺陷检测设备的核心组件-高重频脉冲激光器而言，卓海科技在60nm 制程节点已实现对应型号的规模量产及销售；在40nm 制程节点已通过技术验证，正在进行研发样机转产测试；在28nm 制程节点已通过技术验证，正在进行研发样机制备。

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